Nanoporous Metal-Organic Framework Thin Films Prepared Directly from Gaseous Precursors by Atomic and Molecular Layer Deposition: Implications for Microelectronics

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Revista:
ACS Applied Nano Materials

ISSN: 2574-0970

Año de publicación: 2023

Volumen: 6

Número: 2

Páginas: 827-831

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/ACSANM.2C04934 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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