Nanoporous Metal-Organic Framework Thin Films Prepared Directly from Gaseous Precursors by Atomic and Molecular Layer Deposition: Implications for Microelectronics

  1. Multia, J.
  2. Kravchenko, D.E.
  3. Rubio-Giménez, V.
  4. Philip, A.
  5. Ameloot, R.
  6. Karppinen, M.
Zeitschrift:
ACS Applied Nano Materials

ISSN: 2574-0970

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 6

Nummer: 2

Seiten: 827-831

Art: Artikel

DOI: 10.1021/ACSANM.2C04934 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
Datenquelle: Scopus