Nanoporous Metal-Organic Framework Thin Films Prepared Directly from Gaseous Precursors by Atomic and Molecular Layer Deposition: Implications for Microelectronics

  1. Multia, J.
  2. Kravchenko, D.E.
  3. Rubio-Giménez, V.
  4. Philip, A.
  5. Ameloot, R.
  6. Karppinen, M.
Revista:
ACS Applied Nano Materials

ISSN: 2574-0970

Any de publicació: 2023

Volum: 6

Número: 2

Pàgines: 827-831

Tipus: Article

DOI: 10.1021/ACSANM.2C04934 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus