Real-time in situ monitoring of wet thermal oxidation for precise confinement in VCSELs

  1. Almuneau, G.
  2. Bossuyt, R.
  3. Collière, P.
  4. Bouscayrol, L.
  5. Condé, M.
  6. Suarez, I.
  7. Bardinal, V.
  8. Fontaine, C.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242 1361-6641

Año de publicación: 2008

Volumen: 23

Número: 10

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/23/10/105021 GOOGLE SCHOLAR