Real-time in situ monitoring of wet thermal oxidation for precise confinement in VCSELs

  1. Almuneau, G.
  2. Bossuyt, R.
  3. Collière, P.
  4. Bouscayrol, L.
  5. Condé, M.
  6. Suarez, I.
  7. Bardinal, V.
  8. Fontaine, C.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Any de publicació: 2008

Volum: 23

Número: 10

Tipus: Article

DOI: 10.1088/0268-1242/23/10/105021 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus