Real-time in situ monitoring of wet thermal oxidation for precise confinement in VCSELs

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Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 23

Nummer: 10

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/23/10/105021 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus