Hard a-C:H films deposited at high deposition rates
- Marques, F.C.
- Lacerda, R.G.
- De Lima Jr., M.M.
- Vilcarromero, J.
ISSN: 0040-6090
Año de publicación: 1999
Volumen: 343-344
Número: 1-2
Páginas: 222-225
Tipo: Artículo
Revista:
Thin Solid Films