Hard a-C:H films deposited at high deposition rates

  1. Marques, F.C.
  2. Lacerda, R.G.
  3. De Lima Jr., M.M.
  4. Vilcarromero, J.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1999

Volum: 343-344

Número: 1-2

Pàgines: 222-225

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0040-6090(98)01630-7 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus