Hard a-C:H films deposited at high deposition rates

  1. Marques, F.C.
  2. Lacerda, R.G.
  3. De Lima Jr., M.M.
  4. Vilcarromero, J.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 343-344

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 222-225

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0040-6090(98)01630-7 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus