High-purity cobalt nanostructures grown by focused-electron-beam-induced deposition at low current

  1. Córdoba, R.
  2. Sesé, J.
  3. De Teresa, J.M.
  4. Ibarra, M.R.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 87

Nummer: 5-8

Seiten: 1550-1553

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.11.027 GOOGLE SCHOLAR
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