Focused electron beam induced etching of titanium with XeF2

  1. Schoenaker, F.J.
  2. Córdoba, R.
  3. Fernndez-Pacheco, R.
  4. Magén, C.
  5. Stéphan, O.
  6. Zuriaga-Monroy, C.
  7. Ibarra, M.R.
  8. De Teresa, J.M.
Aldizkaria:
Nanotechnology

ISSN: 0957-4484,  1361-6528

Argitalpen urtea: 2011

Alea: 22

Zenbakia: 26

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/0957-4484/22/26/265304 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus