Focused electron beam induced etching of titanium with XeF2

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Zeitschrift:
Nanotechnology

ISSN: 0957-4484,  1361-6528

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 22

Nummer: 26

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0957-4484/22/26/265304 GOOGLE SCHOLAR

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