Au-pva nanocomposite negative resist for one-step three-dimensional e-beam lithography

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Zeitschrift:
Langmuir

ISSN: 0743-7463,  1520-5827

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 26

Nummer: 4

Seiten: 2825-2830

Art: Artikel

DOI: 10.1021/LA902915N GOOGLE SCHOLAR

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