Influence of krypton atoms on the structure of hydrogenated amorphous carbon deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

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Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 2010

Volumen: 108

Número: 12

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.3526000 GOOGLE SCHOLAR