EDUARDO
MARTINEZ TAMAYO
CATEDRÁTICO/A DE UNIVERSIDAD
STMicroelectronics
Ginebra, SuizaPublicaciones en colaboración con investigadores/as de STMicroelectronics (2)
2005
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Thermal stress relaxation of Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition silicon nitride
Materials Research Society Symposium Proceedings
2004
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Integration of ultra low thermal budget CVD dielectrics in 65 NM MOS devices
Proceedings - Electrochemical Society