Fabrication of cobalt trifluoride (CoF3) phase from metallic cobalt by XeF2-assisted Focused Electron Beam Induced Processing

  1. De Teresa, J.M.
  2. Holuj, P.
  3. Córdoba, R.
  4. Fernández-Pacheco, R.
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Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2014

Volumen: 125

Páginas: 78-82

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2014.01.002 GOOGLE SCHOLAR

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