F.TERRA TERMO.
Departament
Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid
Madrid, EspañaPublicaciones en colaboración con investigadores/as de Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (1)
1994
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Electron cyclotron resonance plasma deposition as a promising technique for low-temperature hard coatings
Vacuum, Vol. 45, Núm. 10-11, pp. 1023-1025