MARIA JESUS
HERNANDEZ LUCAS
TITULAR DE UNIVERSIDAD
Instituto de Óptica Daza de Valdés
Madrid, EspañaPublicaciones en colaboración con investigadores/as de Instituto de Óptica Daza de Valdés (1)
2000
-
Low temperature electron cyclotron resonance plasma technique for low loss integrated optics
Microelectronic Engineering, Vol. 53, Núm. 1, pp. 407-410