Growth of HfO2/TiO2 nanolaminates by atomic layer deposition and HfO2-TiO2 by atomic partial layer deposition
- Hernández-Arriaga, H.
- López-Luna, E.
- Martínez-Guerra, E.
- Turrubiartes, M.M.
- Rodríguez, A.G.
- Vidal, M.A.
ISSN: 1089-7550, 0021-8979
Any de publicació: 2017
Volum: 121
Número: 6
Tipus: Article