Atomic layer deposition supercycle approach applied to the Al-doping of nearly saturated ZnO surfaces

  1. Ramírez-Esquivel, O.Y.
  2. Mazón-Montijo, D.A.
  3. Cabrera-German, D.
  4. Martínez-Guerra, E.
  5. Montiel-González, Z.
Revista:
Ceramics International

ISSN: 0272-8842

Año de publicación: 2021

Volumen: 47

Número: 5

Páginas: 7126-7134

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.CERAMINT.2020.11.066 GOOGLE SCHOLAR