Coefficient of thermal expansion and elastic modulus of thin films

  1. De Lima Jr., M.M.
  2. Lacerda, R.G.
  3. Vilcarromero, J.
  4. Marques, F.C.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 86

Nummer: 9

Seiten: 4936-4942

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.371463 GOOGLE SCHOLAR