A microscope configuration for nanometer 3-D movement monitoring accuracy

  1. Beiderman, Y.
  2. Amsel, A.D.
  3. Tzadka, Y.
  4. Fixler, D.
  5. Mico, V.
  6. Garcia, J.
  7. Teicher, M.
  8. Zalevsky, Z.
Revista:
Micron

ISSN: 0968-4328

Año de publicación: 2011

Volumen: 42

Número: 4

Páginas: 366-375

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MICRON.2010.05.020 GOOGLE SCHOLAR
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