Resist-based silver nanocomposites synthesized by lithographic methods

  1. Marques-Hueso, J.
  2. Abargues, R.
  3. Canet-Ferrer, J.
  4. Valdes, J.L.
  5. Martinez-Pastor, J.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 87

Nummer: 5-8

Seiten: 1147-1149

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.10.043 GOOGLE SCHOLAR
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