Surface passivation of gallium selenide by nitrogen implantation

  1. Márquez, F.
  2. Segura, A.
  3. Muñoz, V.
  4. González, G.
Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 34

Nummer: 1

Seiten: 460-463

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/SIA.1338 GOOGLE SCHOLAR